佐賀大学ビームライン（BL13@SAGA-LS）
 ナノスケール表面・界面ダイナミクスビームライン

ビームラインの概要

　　強力なシンクロトロン光および高輝度アンジュレータ光とエネルギー選択性の高い真空紫外線・軟Ｘ線分光システムに光電子分光と蛍光分光を複合した高分解能測定システムです。また、レーザーとの組み合わせによる時間分割測定や二光子分光を行う世界最先端の装置です。

BL13.png

 

ビームラインの構成・仕様

 

名称 VLSステーション PGMステーション
光子エネルギー 34～800 eV 2～150 eV
光源 平面型アンジュレータ 偏向電磁石
分光器 不等間隔刻線平面回折格子分光器 平面回折格子分光器
実験手法 光電子分光 吸収・蛍光測定、光電子分光
主要な機器 測定室
  • 光電子分析装置
  • Ti：サファイアレーザー装置
  • 循環型ヘリウム冷凍機
準備室
  • イオンスパッタ銃
  • 電子衝撃加熱型蒸着源
  • 低速電子線回折装置
  • （その他）
    • 試料破断機構
    • 水晶振動子膜厚計
    • ガス導入(バリアブルリークバルブ)
    • 試料加熱（直接通電など）
ロードロック室
  • グローブボックス
  • 試料ストック機構
    • home-made, ６コ
測定配置と試料ホルダの概要 		測定室
  • 光電子分析装置
  • ツインアノードX線管
  • 高強度型Heランプ
  • Ti：サファイアレーザー装置
  • 循環型ヘリウム冷凍機
準備室
  • イオンスパッタ銃
  • 電子衝撃加熱型蒸着源
  • 低速電子線回折/Auger電子分光装置
  • （その他）
    • 試料加熱機構（直接通電など）
ロードロック室
  • 試料ストック機構
    • home-made, ６コ
チェンバ・機器構成の模式図 BL13_VLS_st... BL13_PBM_st...

測定例

 1 / 2 / 3 / 4 1 / 2 / 3 / 4